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產品介紹/ PRODUCT PRESENTATION| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣 |
日本Canon anelva佳能 電容表真空計M-342DG
日本Canon anelva佳能 電容表真空計M-342DG
特征：
高精度、穩定的壓力測量
?出色的零點穩定性
?溫度依賴性低，無需溫度調節機構即可實現出色的穩定性
?出色的抗振性和噪音性
緊湊、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、輕量且緊湊 (*1)
、功耗 0.5 W
*1 質量和尺寸適用于聯合 NW16 規格。
廣泛兼容真空壓力的高精度、長期穩定測量
半導體、顯示器、太陽能電池等各種真空設備、
濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力控制、監視
/負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工藝、系統壓力管理。
用于醫療、生物、食品等行業的各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析設備、滅菌、真空泵評估、分子蒸餾等，以及各種研發應用。
| 型號名稱 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| 滿量程壓力 (Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測量精度（讀數的%） | 0.20(23℃時) | ||||
| 零點溫度系數（% of FS/℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| 量程溫度系數（%讀數/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分辨率（滿量程的%） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測量下限壓力（滿量程的%） | 0.01 | ||||
| 實際測量下限壓力（滿量程的%） | 0.05 | ||||
| 實際控制下限壓力（滿量程的%） | 0.5 | ||||
| 響應速度（毫秒） | 100 | 30 | |||
| 壓力上限 | 200 kPa（但是，對于NW16和NW25，內部壓力不得為正） *13.33 Pa規格為130 kPa | ||||
| 電源電壓（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 功耗（瓦） | 0.5 | ||||
| 模擬輸出（直流） | 0-10 | ||||
| 工作溫度/儲存溫度(℃) | 0~50/-20~70（不工作時） | ||||
| 最大電纜長度（米） | 100（專用電纜） | ||||
| 調零方式 | 按鍵開關、遠程輸入 | ||||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub9 針（公頭） | ||||
| 氣體接觸材料 | SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡膠 | ||||
| 法蘭形狀和質量 | NW16 (200 g)、NW25 (210 g)、8-VCR 母頭 (250 g)、φ70ICF (460 g) | ||||
| 一致 | CE 標志、RoHS、IP40 | ||||
| 證券交易管制條例 | 不適用 | ||||
| 兼容顯示器 | M-601GC（1通道連接型）、M-603GC（3通道連接型） | ||||
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