真空泵的工作原理是什么

更新時(shí)間：2025-12-09

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真空泵的核心工作邏輯是通過(guò)特定結(jié)構(gòu)改變泵腔容積或利用氣體分子運(yùn)動(dòng)規(guī)律，實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮與排出，從而在目標(biāo)容器內(nèi)形成真空環(huán)境。不同類(lèi)型的真空泵工作原理差異較大，可分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩大類(lèi)，具體如下：

氣體傳輸泵（主流類(lèi)型，通過(guò)機(jī)械動(dòng)作輸送氣體）

旋片式真空泵
泵腔內(nèi)部有一個(gè)偏心安裝的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子上嵌有可伸縮的旋片（通常由彈簧或離心力驅(qū)動(dòng)）。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片緊貼泵腔內(nèi)壁，將泵腔分隔成多個(gè)可變?nèi)莘e的小腔室：
水環(huán)式真空泵
泵殼內(nèi)注入一定量的水作為工作液，葉輪偏心安裝在泵腔內(nèi)。當(dāng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，水在離心力作用下被甩向泵殼內(nèi)壁，形成一個(gè)與泵殼同心的水環(huán)，水環(huán)與葉輪輪轂之間形成月牙形的封閉腔室，且該腔室被葉輪葉片分成若干個(gè)小腔：
羅茨真空泵
泵腔內(nèi)有兩個(gè) 8 字形的轉(zhuǎn)子，由同步齒輪驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)反向同步旋轉(zhuǎn)，且轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子之間保持微小間隙（無(wú)接觸）：
干式螺桿真空泵
泵腔內(nèi)有兩根相互嚙合、反向旋轉(zhuǎn)的螺桿（陰陽(yáng)螺桿）。螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí)，進(jìn)氣端的氣體被截留在螺桿的螺槽內(nèi)，隨著螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，螺槽容積逐漸縮小，氣體被壓縮并向排氣端推送，最終從排氣口排出。因無(wú)需油或水等工作液密封，屬于無(wú)油真空泵，適用于潔凈、易燃易爆或腐蝕性氣體的抽排。
渦輪分子泵
基于氣體分子動(dòng)量傳遞原理工作，泵內(nèi)有多層動(dòng)葉輪和靜葉輪（定子），動(dòng)葉輪由高速電機(jī)驅(qū)動(dòng)（轉(zhuǎn)速可達(dá)數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘）。當(dāng)氣體分子進(jìn)入泵內(nèi)，會(huì)被高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪撞擊，獲得與葉輪相同方向的運(yùn)動(dòng)速度，進(jìn)而被推向靜葉輪，經(jīng)過(guò)多層葉輪的逐級(jí)傳輸，氣體最終被壓縮至排氣口，由前級(jí)泵抽走。它能獲得超高真空，常用于半導(dǎo)體、科研等高真空需求場(chǎng)景。

吸氣階段：轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，進(jìn)氣側(cè)的空間容積擴(kuò)大，氣體被吸入轉(zhuǎn)子與泵腔形成的封閉腔室；
輸送階段：轉(zhuǎn)子帶著封閉腔室內(nèi)的氣體向排氣側(cè)移動(dòng)，此過(guò)程中氣體無(wú)壓縮；
排氣階段：當(dāng)封閉腔室與排氣口連通時(shí)，排氣側(cè)的高壓氣體回流對(duì)腔內(nèi)氣體進(jìn)行壓縮，隨后氣體被排出。
羅茨真空泵通常需搭配前級(jí)泵（如旋片泵、水環(huán)泵）使用，不能單獨(dú)抽大氣，主要用于提升真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空。
吸氣階段：小腔容積從最小逐漸變大，壓力降低，通過(guò)吸氣口吸入氣體；
壓縮階段：葉輪繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，小腔容積從zui大逐漸縮小，氣體被壓縮；
排氣階段：當(dāng)小腔容積縮小到最小，氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，通過(guò)排氣口排出。
其工作液也可根據(jù)工況換成其他液體（如油、硫酸），對(duì)應(yīng)稱(chēng)為液環(huán)真空泵。
吸氣階段：小腔室容積逐漸增大，內(nèi)部壓力降低，被抽容器內(nèi)的氣體隨之流入；
壓縮階段：轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，小腔室容積縮小，氣體被壓縮，壓力升高；
排氣階段：當(dāng)氣體壓力超過(guò)排氣口的大氣壓和排氣閥彈簧力時(shí)，排氣閥打開(kāi)，氣體被排出泵外。
泵腔內(nèi)會(huì)填充真空油，起到密封、潤(rùn)滑和冷卻作用，因此也叫油潤(rùn)滑旋片泵。

氣體捕集泵（通過(guò)物理 / 化學(xué)作用吸附氣體，無(wú)氣體排出）

低溫泵
利用低溫表面（通常由液氮或液氦冷卻至 10-20K 甚至更低）對(duì)氣體分子進(jìn)行冷凝或吸附：泵內(nèi)的低溫板會(huì)將氣體分子冷卻并凍結(jié)在其表面，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被抽容器的抽氣。它能獲得ji高的極限真空，且無(wú)油污染，適用于對(duì)潔凈度要求ji高的科研和半導(dǎo)體工藝。
濺射離子泵
泵內(nèi)充有惰性氣體（如氬氣），通過(guò)高壓電場(chǎng)使氬氣電離，產(chǎn)生的氬離子轟擊鈦陰極，濺射出鈦原子并沉積在泵壁和陽(yáng)極上。鈦是活性金屬，能與被抽氣體分子（如氧氣、氮?dú)?、氫氣）發(fā)生化學(xué)吸附，同時(shí)氣體分子也會(huì)被電離后吸附到陽(yáng)極上，從而實(shí)現(xiàn)抽氣。其無(wú)油、無(wú)振動(dòng)，常用于超高真空的科研裝置和航天設(shè)備。